、響應(yīng)時間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高
★安裝方便 ，無安裝位置和直管段要求
，操作簡單
★可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用
技術(shù)參數(shù)：
基本型號 | C51 氣體質(zhì)量流量控制器 | C51M 氣體質(zhì)量流量計(jì) |
流量規(guī)格1(N2標(biāo)定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM |
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 |
流量分辨率 | 0.1％F.S. |
準(zhǔn)確度 | ±1％F.S. (≤15SLM) |
±2％F.S. (＞15SLM) |
線性 | ±0.5％F.S. (≤15SLM) |
±2％F.S. (＞15SLM) |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤1sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa～3MPa |
0.1～0.3MPa (＞10SLM) |
最大耐壓 | 3MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ |
電纜接頭 | DB15pin(針形) |
輸入輸出信號 | 4～20mA或0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ ，輸出電流不大于3mA) | 4～20mA或0～+5.00V (無輸入信號 ，輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 | +24VDC(≥300mA) | +24VDC(≥150mA) |
對外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L ，密封填料 |
密封材料 | 丁腈橡膠NBR ，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR ，硅橡膠VMQ,
氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” |
雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×122 mm |
凈重量 | 0.9kg | 0.75kg |
